高純/特種氣體的概念及供氣系統(tǒng)及進口便攜式露點儀品牌的選擇
近20年來,隨著更復雜、更密集的大規(guī)模和超大規(guī)模集成電路的生產,對高純氣體潔凈度的要求,已不亞于對純度和干燥度的要求,凡工藝氣體,無一不對其中的粒子提出限制。因此,對于高純氣體,純度、干燥度、潔凈度是三項重要的標度。由于高純度氣體的使用地點、性質、工況(如溫度、壓力等)都不*一致,所以,如何確定高純氣體的“三度”(純度、干燥度、潔凈度),還沒有一個嚴格而明確的概念。 高純/特種氣體的概念及供氣系統(tǒng)及進口便攜式露點儀品牌的選擇 主要產品:SADP露點儀|在線露點儀| 肖氏露點傳感器|肖氏露點儀|頂空分析儀|藥品殘氧儀|壓縮空氣露點儀|Mocon透氧儀|膜康透濕儀|PBI頂空分析儀|露點儀品牌|露點儀價格|露點儀批發(fā)|Hitech氧氣分析儀|Hitech熱導氣體分析儀|Hitech氫氣分析儀|露點儀廠家
對于純度和干燥度的控制,我國CBJ73—84《潔凈廠房設計規(guī)范》中指出,“高純氣體系指純度大于或等于99.9995%,含水量小于5ppm氣體。”日本把微電子生產中所采用的氣體,按其不同的品位,具體分為下列幾個不同的檔次:
1.超高純氣體 氣體中雜質總含量控制在1ppm以下,水份含量控制在0.2~1ppm。
2.高純氣體 氣體中雜質總含量控制在5ppm以下,水份含量控制在3 ppm以內。
3.潔凈氣體 氣體中雜質總含量控制在10 ppm以下,對水份含量未作嚴格規(guī)定。 高純/特種氣體的概念及供氣系統(tǒng)及進口便攜式露點儀品牌的選擇
上述規(guī)定,都未涉及潔凈度。我們知道集成電路的生產,幾乎都是在潔凈環(huán)境中進行,是防止塵埃粒子污染微電子產品所必需的。所以,對潔凈的生產環(huán)境絕不允許采用不潔凈的氣體來破壞,必須使氣體的潔凈度與潔凈環(huán)境保持一致,根據(jù)相關資料以及近些年公司相關工程的經驗進行了一些歸納。
英國SHAW在線露點儀Superdew3
1. 量程可選如下:`
SUPER-DEW3 -R 紅點(R): -80~-20℃
SUPER-DEW3 -P 紫點(P): -100~0℃
SUPER-DEW3 -G 灰點(G): -80~0℃
SUPER-DEW3 -Y 黃點(Y): -60~0℃高純/特種氣體的概念及供氣系統(tǒng)及進口便攜式露點儀品牌的選擇
SUPER-DEW3 -RS 銀點(S): -100~-20℃
2、英國SHAW在線露點儀Superdew3特性:
★ 在線測定各種氣體的露點溫度
★ 干燥氣體時的保證精度為1PPM
★ 室內空氣中一分鐘自動校準
★ 大型背光式液晶數(shù)字顯示
★ 標準的4~20MA或0~1號輸出
技術參數(shù)
二次表:(SuperDew)
★ 顯示精度:1%
★ 安裝類型:面板安裝, 開口尺寸:135mmx66mmx175mm(深)
★ 顯示:3 1/2位帶背光的數(shù)字顯示
★ 供電:220V AC @50Hz
★ 輸出:4-20mA標準信號輸出, 兩路繼電器高低報警輸出240V @3A
★ 校準:在空氣中自動校準
★ 可任意調節(jié)的高低報警輸出
★ 傳感器到儀表之間的距離可達1千米
★ ISO 9002質量控制高純/特種氣體的概念及供氣系統(tǒng)及進口便攜式露點儀品牌的選擇
★ 可選量程:-100℃~0℃/-80℃~0℃
3.測量精度:+/-3℃
4.樣氣壓力:1~30psi,本傳感器可耐壓到200Bar
5.樣氣流量:1~5升/分鐘,建議1升/分鐘
6.氣路連接:1/4”或 1/8”卡套接頭
7.防 爆:傳感器本安防爆,增加隔離柵選件可組成防爆檢測系統(tǒng)
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