半導體制造業(yè)中氮氣中的在線露點儀選用英國肖氏進口露點分析儀
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半導體制造業(yè)中氮氣是非常常用的氣體,通常在氮氣中需要檢測微量水含量,而英國肖氏進口露點儀在這種應用中很常見。
現(xiàn)代社會里,氣體是*的一個重要組成部分。在衣食住行的各個環(huán)節(jié),幾乎都離不開氣體。以芯片制造廠為例,他們在生產(chǎn)芯片的薄膜、刻蝕、摻雜、氣相沉積和擴散過程中,就少不了電子氣體。不同領域?qū)怏w的要求不一樣,給供應商提出了*的技術(shù)要求。在發(fā)展多年之后,的氣體供應以四大供應商主導,分別是林德集團、法國液化空氣集團、普萊克斯和空氣產(chǎn)品公司。
氣體如此重要,甚至連它們的提取、儲存、運輸和轉(zhuǎn)充都給人帶來了極大的神秘感。為了對這個產(chǎn)業(yè)有更多的了解,半導體行業(yè)觀察記者近日走訪了林德集團在中國的幾家工廠,為大家揭開其神秘的面紗。半導體制造業(yè)中氮氣中的在線露點儀選用英國肖氏進口露點分析儀
空氣分離裝置是根本主要產(chǎn)品:SADP露點儀|在線露點儀| 肖氏露點傳感器|肖氏露點儀|頂空分析儀|藥品殘氧儀|壓縮空氣露點儀|Mocon透氧儀|膜康透濕儀|PBI頂空分析儀|露點儀品牌|露點儀價格|露點儀批發(fā)|露點儀廠家
行內(nèi)的人都知道,林德集團創(chuàng)始人卡爾林德的一大貢獻就是發(fā)明了空氣液化分離。
公開資料顯示,1895年,德國人卡爾·林德研究成功了一次節(jié)流循環(huán)液化空氣的方法,這是*簡單的深度冷凍循環(huán)。它采用節(jié)流膨脹和逆流換熱,稱為林德循環(huán)。1902年,德國林德公司制成了**套林德循環(huán)單級精餾工業(yè)裝置,自此開始了林德集團在氣體領域的偉大征程。
據(jù)林德電子市場開發(fā)負責人Paul Stockman博士介紹,林德在過去的一百多年里通過其旗下的林德工程向80個國家和地區(qū)提供了3000套裝置,而公司旗下的林德氣體擁有和運營400套。通過這些裝置,能夠為的客戶提供氧氣和氮氣等氣體供應,滿足他們的需求。設計和建造空氣分離裝置是林德傳統(tǒng)業(yè)務的一部分,一切都得益于他們在空氣分離技術(shù)方面的積累。聯(lián)華工業(yè)氣體(蘇州)有限公司工廠經(jīng)理李慧崗也表示,自1902年制造**套制氮機以來,空氣液化分離一直林德的專長。半導體制造業(yè)中氮氣中的在線露點儀選用英國肖氏進口露點分析儀主要產(chǎn)品:SADP露點儀|在線露點儀| 肖氏露點傳感器|肖氏露點儀|頂空分析儀|藥品殘氧儀|壓縮空氣露點儀|Mocon透氧儀|膜康透濕儀|PBI頂空分析儀|露點儀品牌|露點儀價格|露點儀批發(fā)|露點儀廠家
林德的空氣分離原理
從他的介紹中我們得知,林德的空氣分離工藝流程分為五個部分,分別是Air Compression(空氣壓縮)、Air Purification(空氣凈化系統(tǒng))、Cooling and Re-warming(冷卻和再加熱)、Separation by distillation(蒸餾分離)和后備系統(tǒng)。
具體操作是首先在Air Compression環(huán)節(jié)將空氣壓縮到一定壓力等級并冷卻到環(huán)境溫度;然后在第二步(Air Purification)通過預純化裝置(PPU)帶催化劑,去除空氣中的雜質(zhì),把空氣中的水分**掉;到了Cooling and Re-warming(冷卻和再加熱),則通過熱交換器對壓縮空氣進行冷卻,把正常的空氣溫度冷卻(通常會達到-174到-175左右),這時候空氣就接近于液化溫度;Separation by distillation(蒸餾分離)則是林德比較優(yōu)勢的一個工藝,經(jīng)過這一步,空氣就能進入精餾塔底部,經(jīng)過深度冷卻分離,從頂部抽取高純氮氣。主要產(chǎn)品:SADP露點儀|在線露點儀| 肖氏露點傳感器|肖氏露點儀|頂空分析儀|藥品殘氧儀|壓縮空氣露點儀|Mocon透氧儀|膜康透濕儀|PBI頂空分析儀|露點儀品牌|露點儀價格|露點儀批發(fā)|露點儀廠家同時可以經(jīng)過工藝調(diào)整,在冷箱上附設氧氣精餾塔,用以生產(chǎn)高純度氧氣;
“通常,從這個氮氣裝置里面生產(chǎn)出來的產(chǎn)品會達到20個PPB以下,再經(jīng)過純化系統(tǒng)可以達到1個PPB以下滿足客戶的需求”,李慧崗強調(diào)。半導體制造業(yè)中氮氣中的在線露點儀選用英國肖氏進口露點分析儀
*后,林德還提供一個后備系統(tǒng),將富余產(chǎn)品經(jīng)過液化后存儲在儲罐中備用。它的主要作用就是說在裝置遇到緊急情況的時候,這個后備系統(tǒng)的富余氣體能補充到整個管網(wǎng)里面,確保整個管網(wǎng)的平穩(wěn)運行。
通過空氣分離裝置、氦氣與合成氣體裝置、天然液化氣裝置與石化裝置,林德集團在國內(nèi)獲得了客戶的高度認可。他們生產(chǎn)的各種氣體也能通過多樣化的傳送方式為客戶提供高品質(zhì)的服務。主要產(chǎn)品:SADP露點儀|在線露點儀| 肖氏露點傳感器|肖氏露點儀|頂空分析儀|藥品殘氧儀|壓縮空氣露點儀|Mocon透氧儀|膜康透濕儀|PBI頂空分析儀|露點儀品牌|露點儀價格|露點儀批發(fā)|露點儀廠家
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